產品性能與參數：

ZYGO白光干涉光學輪廓儀多維表面測量方案 ZYGO白光干涉光學輪廓儀是一款基于白光干涉原理的非接觸式表面測量設備，適用于多種表面形貌和紋理分析。其核心特點包括：

• 多模式測量：支持白光干涉、共聚焦、相位差干涉等多種測量模式，適用于從光滑到粗糙的各類表面。

• 高精度測量：具備納米級分辨率，適用于高精度表面形貌測量。

• 大視場與高分辨率：支持大視場測量，適用于復雜表面結構的分析。

• 軟件功能：配備用戶友好的操作界面，支持數據處理和分析。

產品細節(jié)與結構：

• 光學系統(tǒng)：配備多種物鏡（如5X、50X、150X）和干涉物鏡，支持不同放大倍數和視場范圍。

• 測量平臺：支持多軸掃描和高精度定位，適用于復雜樣品的測量。

• 軟件支持：提供用戶友好的操作界面，支持數據導出和報告生成。

型號與用途：

• 型號：如ZeGage、NewView、Nexview等，適用于不同應用場景。

• 用途：廣泛應用于光學、半導體、材料科學、精密機械等領域，用于表面形貌、粗糙度、薄膜厚度等參數的測量。

使用說明：

• 操作流程：通過軟件界面進行樣品定位、參數設置、自動掃描和數據處理。

• 維護與保養(yǎng)：定期校準和維護設備，確保長期穩(wěn)定運行。

總結：

ZYGO白光干涉光學輪廓儀是一款功能全面、性能穩(wěn)定的表面測量設備，適用于多種科研和工業(yè)應用，是表面形貌測量中的理想選擇。

ZYGO白光干涉光學輪廓儀多維表面測量方案