澤攸ZEM20掃描顯微鏡：緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空

ZEM20 采用 6061?T6 鋁合金真空腔，表面經(jīng) 35?µm 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化處理，放氣率僅 4.5?×?10???Pa·L·s?1·cm?2，能夠在 3?×?10???Pa 真空下穩(wěn)定工作。抽氣系統(tǒng)由 30?L/min 隔膜泵 + 70?L/s 渦輪分子泵組成，抽真空循環(huán)時(shí)間約 3?min。

• 電子槍：CeB? 單晶燈絲，壽命約 1500?h，燈絲壽命監(jiān)控實(shí)時(shí)顯示。

• 磁透鏡：三級(jí)磁透鏡（聚光、物鏡、掃描），采用 1J79 坡莫合金磁屏蔽筒（μr?>?40?000），像散校正通過 8?級(jí)掃描線圈實(shí)現(xiàn)。

• 探測(cè)器：二次電子（SE）與背散射電子（BSE）雙通道，可同步顯示并拍攝混合圖像。

• 樣品臺(tái)：5?軸中心馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X/Y 行程 ≥?110?mm，Z 行程 1.5–40?mm，旋轉(zhuǎn) 360°，傾斜 -5°~70°，配備自動(dòng)對(duì)中、自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)亮度對(duì)比度（ABCC）功能。

核心參數(shù)